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氧分析儀
Gasboard-3053
氧分析儀Gasboard-3053搭載高穩(wěn)定性的氧化鋯核心傳感器，覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測量。具有測量精度高、響應(yīng)時間快、穩(wěn)定性好等特點，可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域，為關(guān)鍵的過程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計，體積小巧，便于在復(fù)雜?況下安裝，同時配備直觀豐富的用戶界面，提供卓越的人機交互體驗。
產(chǎn)品特性


    • 測量精度?，ppm級別測量
    • 響應(yīng)速度快，秒級出數(shù)
    • 即插即??體化設(shè)計
    • 內(nèi)置采樣泵與過濾系統(tǒng)，安裝維護便捷
    • 本地化端到端服務(wù)保障



應(yīng)用領(lǐng)域
    半導(dǎo)體、LED等?產(chǎn)過程中氧濃度控制、惰性保護?體?產(chǎn)及焊接?藝中氧濃度監(jiān)測、空?分離加??藝中氧濃度測定、真空?套箱系統(tǒng)中氧含量的監(jiān)控
技術(shù)參數(shù)
微量-常量氧分析儀
功能性能需求 檢測氣體 O2
量程范圍 0~10~100~1000ppm，0~25%，自動切換
最低檢出限 0.5ppm
分辨率 0.1ppm
準(zhǔn)確度/示值誤差/精度
（ppm=氧分壓/當(dāng)前?作總壓） 		≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm
以較大值為準(zhǔn)
響應(yīng)時間 T90≤10s
預(yù)熱時間 ≤20min
零點漂移 ±0.5%F.S.
量程漂移 ±0.5%F.S.
重復(fù)性 ±0.5%F.S.
電氣結(jié)構(gòu) 通訊協(xié)議 RS-232，RS-485
氣路接口 進氣/出氣 1/4''VCR-F
結(jié)構(gòu)形式 一體式
結(jié)構(gòu)尺寸（L*W*D） 210*134*300mm
環(huán)境要求 傳感器（RSM）工作溫濕度 溫度：0~50℃；濕度：0~95%RH，非冷凝
采樣流量 0.5~1L/min傳感器內(nèi)設(shè)控流組件
*具體參數(shù)請以規(guī)格書為準(zhǔn)，如需獲取更多技術(shù)信息，請聯(lián)系：027-81628829或info@gasanalyzer.com.cn

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