1. 應(yīng)用需求與挑戰(zhàn)

鼓泡器溫度均勻性：即使采用恒溫槽，仍難以完全消除溫度波動；

前驅(qū)體狀態(tài)變化：固態(tài)前驅(qū)體的表面積或液態(tài)前驅(qū)體的液位變化均可能導(dǎo)致輸送不穩(wěn)定。

為實現(xiàn)工藝優(yōu)化，需對前驅(qū)體濃度進(jìn)行實時監(jiān)測，并通過反饋調(diào)節(jié)氣體流量、溫度、壓力等參數(shù)，形成閉環(huán)控制。

技術(shù)選擇：非色散紅外（NDIR）氣體分析技術(shù)具有響應(yīng)快、精度高、體積小等優(yōu)勢，是MOCVD前驅(qū)體濃度監(jiān)測的理想方案。

國產(chǎn)化迫切性：目前此類設(shè)備依賴歐美日進(jìn)口，但根據(jù)2025年《政府工作報告》要求，突破關(guān)鍵核心技術(shù)、實現(xiàn)國產(chǎn)替代已成為國家戰(zhàn)略需求，對保障產(chǎn)業(yè)鏈安全至關(guān)重要。

圖1 MOCVD工藝原理圖

2. 解決方案

圖2 Gasboard-2062紅外氣體傳感器

2.1 測量原理

Gasboard-2062采用雙光束紅外吸收檢測技術(shù)：紅外光源發(fā)射特定波長光，通過被測氣體；氣體分子選擇性吸收光信號，強(qiáng)度衰減與濃度成正比；通過對比樣品信號與參比信號（雙光束設(shè)計），計算氣體濃度，確保長期穩(wěn)定性。

2.2 核心優(yōu)勢

雙光束紅外（NDIR）技術(shù)：采用電調(diào)制光源和集成雙通道探測器，顯著提升抗干擾能力；

環(huán)境適應(yīng)性：通過參考通道補(bǔ)償溫度、濕度及交叉氣體干擾，確保測量穩(wěn)定性；

原位高精度測量：原位測量，準(zhǔn)確度≤±1.0% F.S.，響應(yīng)時間T90≤4秒。

圖3 Gasboard-2062紅外氣體傳感器光學(xué)結(jié)構(gòu)

2.3產(chǎn)品性能

實驗室測試顯示，傳感器的線性準(zhǔn)確度（圖4）、響應(yīng)時間（圖4）、重復(fù)性和檢出限等均滿足MOCVD前驅(qū)體氣體濃度在線監(jiān)測需求。

圖4 Gasboard-2062紅外氣體傳感器的線性檢查與響應(yīng)時間檢查

2.4 安裝方案

圖5 Gasboard-2062紅外氣體傳感器的安裝示意圖